山东鲁冠玻璃机械有限公司

空气交换器简介：  KJ空气交换器用于玻璃熔窑的空气换向，其结构形式为闸板式与翻板式KJ型空气交换器。闸板与闸架均由中硅耐热球墨铸铁制成，具有工作温度高闸板式空气交换器，（750℃）,勿需冷却即可连续工作，使用寿命长等特点，传动方式分为电动式、气动式。主要型号有：KJ1.6、KJ2.4、KJ4.0。

1.1、研磨抛光平台

研磨抛光试验在PHL-350型平面高速研磨抛光系统上进行，为了提高研磨盘的平面度，减小行为误差，通常在加工之前将研磨盘两两互研煤气交换器，并用刀口尺检查研磨盘的平面度，以保证被加工工件的表面质量。

1.2、抛光垫

抛光垫在CMP过程中具有贮存抛光液并把它们运送到工件的整个加工区域、维持抛光所需的机械和化学环境、传递材料去除所需的机械载荷等作用[1]。因此，本文采用粒度为W14的金刚石亲水性FAP作为抛光垫，以实现高质低成本的CMP加工具有重要的意义。

空气交换器简介：  KJ空气交换器用于玻璃熔窑的空气换向，其结构形式为闸板式与翻板式KJ型空气交换器。闸板与闸架均由中硅耐热球墨铸铁制成，具有工作温度高闸板式空气交换器，（750℃）,勿需冷却即可连续工作，使用寿命长等特点，传动方式分为电动式、气动式。主要型号有：KJ1.6、KJ2.4、KJ4.0。

微晶玻璃研磨加工后的表面形貌

下图是在工具显微镜1500倍率观察下的经过固结磨料研磨加工后的微晶玻璃表面形貌，从中可以看出其研磨后的表面几乎全是无规则的点坑，却没有划痕，这说明微晶玻璃在研磨过程中材料的去除方式主要是脆性去除，而不是塑性去除，从而也说明了微晶玻璃属于脆硬材料，其结构属于多晶体，因此采用固结磨料研磨加工的方式非常适合。

空气交换器简介：  KJ空气交换器用于玻璃熔窑的空气换向，其结构形式为闸板式与翻板式KJ型空气交换器。闸板与闸架均由中硅耐热球墨铸铁制成，具有工作温度高闸板式空气交换器，（750℃）,勿需冷却即可连续工作，使用寿命长等特点，传动方式分为电动式、气动式。主要型号有：KJ1.6、KJ2.4、KJ4.0。

电炉特点：

1、工作方式：像普通大电炉一样，一天24小时不停的熔化玻璃液。

2、料质与普通大电炉相同。

3、出料方式：熔化好的料液通过降液管流入澄清池，再进入工作池。

其它方面同普通大电炉。

4、观察料质方便。

5、调整料质方便，在熔化池底部设有排渣孔，便于放出沉积的料液，有利于料质的提高。